基于MEMS硅微加工技术,利用单晶硅材料的压阻效应可以制成压阻式MEMS加速度传感器,单晶硅受到应力作用,晶体的晶格产生形变,使得电阻率就会发生变化,从而测得加速度的变化。 图6 压阻式MEMS加速度传感器 3.3 电容式加速度传感器电容式加速度传感器有一个质量块固定在弹性梁的中间,质量块的上端面是一个活动电极,它与上固定电极组成一
加速度传感器是一种能够测量物体加速度力的装置。这种加速度力可能是由于运动、重力或者两者的结合造成的。在最基本的形式中,加速度传感器可以量化物体速度的变化,这是现代技术中不可或缺的一部分,广泛应用于各种设备和系统中,从智能手机到汽车,再到工业机器人。 2、加速度传感器的历史与发展 加速度传感器的历史可以...
这篇文章将给大家介绍一下加速度传感器。 一、加速度传感器是什么? 加速度传感器是一种能够测量物体加速度的传感器,在运动过程中,通过测量质量的惯性力和牛顿第二定律得到加速度。 根据传感器敏感元件的不同,常见的加速度传感器有电容式、电感式、应变式等。 如下图所示,PCBA 上被黄色圈出来的地方为一个加速度传感...
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加速度传感器(Accelerometer),又称加速规、加速计,是用于测量加速度的一种感应装置,该装置在加速过程中对自身所受惯性力进行测量,通过牛顿第二定律得出加速度值。从感应机理上分为压电式、电容式、电感式、应变式、压阻式等。 汽车平顺性试验应用 将加速度传感器安装在车辆座椅上,测量XYZ三个轴向上的振动加速度过程...
一、压电式加速度传感器 压电式加速度传感器是一种常见的传感器,它是利用压电效应来检测加速度的。当传感器受到外力作用时,压电材料会变形,从而产生电荷,这样就可以检测到加速度的变化。压电式加速度传感器具有结构简单、响应速度快的特点,但是精度较低,容易受到温度变化等影响。 二、微机电系统MEMS加速...
电容式加速度传感器原理图 电容式加速度传感器,具有电路结构简单,频率范围宽约为0～450Hz,线性度小于1%,灵敏度高,输出稳定,温度漂移小,测量误差小,稳态响应,输出阻抗低,输出电量与振动加速度的关系式简单方便易于计算等优点,具有较高的实际应用价值。 但不足之处表现在信号的输入与输出为非线性,量程有限,受电缆的...
三角剪切结构,基座应变小,温度瞬态响应低,敏感元件为高稳定的特种陶瓷或石英,灵敏度稳定性好。传感器采用两端 M5 螺孔设计,便于背对背标定。 查看更多 模态压电式加速度传感器 采用剪切结构设计,选用高灵敏度压电陶瓷,具有良好的信噪比和较高的测量分辨率。外壳选用轻质材料钛合金或铝合金以降低被测物附加质量,提高测试...