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划片(Dicing Saw)即划片机是以强力磨削为划切机理,空气静压电主轴为执行元件,以每分钟 3 万到 6 万的转速划切晶圆的划切区域,同时承载着晶圆的工作台以一定的速度沿刀片与晶圆接触点的划切线方… 上机不用愁,一文教你设置划片机参数 西斯特超薄划片刀 ...
一、划片机的起源 划片机最初可以追溯到20世纪60年代，当时，半导体工业正在快速发展，但切割工艺却成为了一个瓶颈。为了解决这个问题，科学家们开始研究利用超精密加工和切割技术制造划片机。最初的划片机主要采用研磨和抛光的方法进行切割，虽然精度很高，但是效率低下，且对材料损耗较大。二、划片机的技术演进 进入...
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