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一、光刻机和蚀刻机的工作原理不同 1.光刻机:光刻机是一种将芯片电路图案铺上光刻胶的过程,将它照射到芯片上,然后利用化学反应将电路图案转移到芯片表面的设备。它包括:曝光、显影、退光等部分。 2.蚀刻机:蚀刻机是一种通过化学反应将芯片表面进行蚀刻的设备。通常使用的蚀刻剂有HF、...
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