材料光学常数确定模块,用于将所述椭偏测试参数向量输入至所述机器学习模型,得出与所述椭偏测试参数向量对应的材料光学常数; 查找模块,用于在已知材料数据库中查找所述待测试材料的光学常数;以及 扩展模块,用于若所述已知材料数据库中不存在所述待测试材料的光学常数,将测试材料的椭偏测试参数向量、与所述椭偏测试参数向...