光学元件抛光的PSD分析及控制策略 在光学加工领域,采用功率谱密度(power spectral density, PSD)对误差频谱方面信息进行表征,但是功率谱密度是表面误差统计信息,不如峰谷值 (peak-valley,PV)和均方根值... 汪志斌,田瑶,孙鹏程,... - 《应用光学》 被引量: 0发表: 2022年 基于声发射技术的光学元件加工质量评价...