导向自组装先进光刻技术嵌段共聚物导向自组装(Directed Self-Assembly,DSA)光刻技术是一种极具发展潜力的新型图形化工艺,已被国际器件与系统路线图(International Roadmap for Devices and Systems,IRDS)列为下一代光刻技术的主要候选方案.DSA光刻技术是基于嵌段共聚物(Block Copolymer,BCP)自组装构建高分辨... 查看全...