采用金属蒸气真空弧(MEVVA)离子源以低束流方式将Nd离子注入到外延硅片中,经高温快速退火处理,制备了结晶良好的钕硅掺杂层.用扫描电子显微镜(SEM),反射式高能电子衍射(RHEED)和X射线衍射(XRD)分析了在不同退火条件下样品注入层相结构的变化.研究结果表明,经高温热处理,注入层形成结晶良好的钕硅化合物,出现由Nd5Si4...
【韩国重离子加速器低能束流的第一个目标试运行成功】韩联社5月29日报道,韩国科学技术信息通信部和基础科学研究所重离子加速器研究中心29日宣布,23日韩国超导重离子加速器在整个低能加速段试运行成功。投资1.5万亿韩元的被称为“檀君以来最大的基础科学项目”的韩国重离子加速器“RAON”完成了低能全段试运行光束。
金融界 2024 年 7 月 27 日消息,天眼查知识产权信息显示,安德信科技集团有限公司取得一项名为“一种低能质子束流传输装置“,授权公告号 CN114071855B,申请日期为 2021 年 12 月。 专利摘要显示,本发明公开了一种低能质子束流传输装置,属于粒子加速器技术领域,包括沿纵向从后至前依次对接的离子源、第一螺线管磁...
1► 离子注入设备主要分为三种类型:低能大束流、中低束流和高能离子注入机。中低束流离子注入机的市场份额约为20%,而高能离子注入机约占20%。低能大束流离子注入机占据市场约60%的份额。 2►离子注入设备主要用于掺杂工艺、高压功率器件、光伏和OLED等领域。低能大束流离子注入机通常用于较为成熟的、技术要求...
近日,凯世通成功向新客户交付了首台低能大束流离子注入机,这标志着其在半导体制造领域的重要突破。随着电子技术的快速发展,尤其是5G、物联网和人工智能等行业的蓬勃兴起,半导体器件的需求日益增加,对制造设备的精度和效率提出了更高的要求。凯世通的低能大束流离子注入机,以其独特的技术优势,正好满足了这一市场需求。
1月30日，中国电科“45-22nm低能大束流离子注入机研发与产业化”项目高分通过验收，标志着完全由我国自主整体设计、关键技术创新的低能大束流离子注入装备实现了从消化吸收到自主创新与产业化阶段的跨越式发展。“45-22nm低能大束流离子注入机研发与产业化”项目是电科装备牵头的“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”...
2024年11月14日,凯世通科技公司成功向一座12英寸晶圆厂的新客户交付了首台低能大束流离子注入机,这标志着该工厂首次引入国产离子注入机设备。随着这台设备的交付,凯世通在国内半导体设备市场的竞争力得到进一步增强,展现出其在高端制造领域的重要地位。 离子注入技术是半导体制造中至关重要的一环,主要用于通过改变材料内...
低束流2) Very-low-energy beam bunching 超低能束流聚束3) low-energy high ion-current 低能强流离子束 1. Briefly introduces the structure of low-energy high ion-current control system. 简要介绍了低能强流离子束控制系统结构,详细论述了控制系统中的干扰来源,并结合实际给出了有效的抑制措施。
低能大束流离子注入机的工作原理可以分为以下几个步骤: 1.离子源产生:设备中的离子源炉或离子源发生器通过加热或其他方式产生离子。这些离子可以是单一元素,也可以是多种元素的混合。 2.离子加速:产生的离子通过一个加速系统,如电场加速器或磁场...
离子注入是一种将离子束直接注入到半导体材料中的方法,以改变材料的导电性和其他性能。 低能大束流离子注入机的原理可以分为以下几个关键步骤: 1.离子生成:首先,离子源产生所需的离子种类。常见的离子源包括离子源炉、离子源发生器等。离子源炉通常包含一个加热器和一个含有离子源材料的容器。加热器将离子源材料...