传感器早已渗透到诸如工业生产、宇宙开发、海洋探测、环境保护、资源调查、医学诊断、生物工程、甚至文物保护等等极其之泛的领域。可以毫不夸张地说，从茫茫的太空，到浩瀚的海洋，以至各种复杂的工程系统，几乎每一个现代化项目，都离不开各种各样的传感器。由此可见，传感器技术在发展经济、推动社会进步方面的重要作用，...
微机电系统（MEMS）是集微机构、微传感器、微执行器、控制电路、信号处理、通信、接口、电源等于一体的微型系统或器件，是对微/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。MEMS技术包括：硅微机械加工技术、深反应离子刻蚀、LIGA技术、分子装配技术、体微加工、表面微加工、激光微加工和微型封装技术等。硅微机械...
MEMS传感器是MEMS器件的一个重要分支，作为微机电系统的重要组成部分，MEMS传感器是实现微机电系统感知和信号处理的功能器件。这种传感器采用MEMS制造技术，即微电子制造技术和微机械加工制造技术，其材料、工作原理、制作工艺等方面与传统传感器有相当大的区别。MEMS传感器是基于其敏感材料的特殊效应工作的，它的制作工艺结合...
近10年,智能手机、智能手表、无人机等技术迅速进入我们的生活,而未来10年,各种可穿戴设备、物联网设备、机器人、自动驾驶等将融入我们的生活。 这其中,作为这些科技的技术基石之一,传感器技术既推动着科技的发展,而这些科技也重新定义了对未来传感器技术的需求:更微型、更集成、更智能、更低功耗…… ...
传感器技术分为光学传感器、磁性传感器、动力学传感器、压力传感器、温度传感器、湿度传感器、气体传感器、生物传感器等多类。其中光学传感器是将光特性应用于检测工作中,如激光测距、光学光谱分析、红外热成像等;磁性传感器是基于磁场的感应原理,以磁特性的变化作为物质性质的检测手段,如电感传感器、霍尔传感器、磁敏电阻传感器...
近10年,智能手机、智能手表、无人机等技术迅速进入我们的生活,而未来10年,各种可穿戴设备、物联网设备、机器人、自动驾驶等将融入我们的生活。 这其中,作为这些科技的技术基石之一,传感器技术既推动着科技的发展,而这些科技也重新定义了对未来传感器技术的需求:更微型、更集成、更智能、更低功耗…… ...
譬如集成电路技术对传感器的发展,在MEMS传感器中,高性能专用集成电路(ASIC)可将成千上万的晶体管电路集成于一块芯片,降低环境因素及寄生参数对传感器性能的影响,大幅度提升 MEMS 传感器的精度。 MEMS声学传感器构造图 量子传感器是量子技术的重要应用场景之一,此...
一、传感器技术特性 (1) 传感器的动态性。动特性是指传感器对随时间变化的输入量的响应特性。动态特性输入信号变化时,输出信号随时间变化而相应地变化,这个过程称为响应。传感器的动态特性是指传感器对随时间变化的输入量的响应特性。动态特性好的传感器,当输入信号是随时间变化的动态信号时,传感器能及时精确地跟踪输入...
作为一种传感器技术，MEMS 无疑是成功的，然而MEMS还有更多的潜力可以挖掘，包括优化制造工艺、开发集成度更高的传感器、解决校准问题、更高的稳定性和进一步降低功耗等。一个显著的例子是，在刚刚过去的5月，全球MEMS传感器领导者意法半导体，刚刚推出了市场上第一款具有 10 年使用寿命的高精度高稳定性MEMS 防水/防液...