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介质薄膜是指在混合集成电路中，除SiO, SiO2, BaTiO3‑、Y2O3、Si3N4 ,钽基介质薄膜以外的其它介质薄膜。简介 介质薄膜是指在混合集成电路中，除SiO, SiO2, BaTiO3‑、Y2O3、Si3N4 ,钽基介质薄膜以外的其它介质薄膜。举例 如Al,Hf、Nb、Zr等金属的阳极氧化介质薄膜，辉光放电制成的聚合物介质薄膜以及氮化...
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