课题组长:吴晓斌研究员,光电中心副主任,博士生导师,微电子所学术委员会委员、学位委员会委员,现任国家02 专项光刻机工程指挥部专家。2009年至今长期从事光刻机与极紫外光刻的研发工作,先后承担国家重大科技专项02专项、国家自然科学基金、中科院先导专项在内的 10 余项项目。 2.【 研究方向 】 光刻机是我国集成电路...
微电子所推免招生 | [中科院微电子所的吴晓斌课题组招生]微电子所吴晓斌老师课题组空出来了几个学硕名额,主要研究方向为EUV光刻及掩膜检测等,感兴趣的同学可以联系。课题组介绍课题组现有研究员 3 人,副研究员 6 人。团队首席科学家为国家 QR 专家,美国 SLAC 国家实验室研究员,25 年极紫外光刻研究经验。课题组长...