一种石英舟切割装置 将刻蚀好的硅片放入氢氟酸中浸泡;f,将石墨舟放入PECVD装置中进行镀膜;g,将镀膜好的硅片采用丝网印刷的方式进行印刷;h,将印刷好的硅片放入烧结炉中进行烧结;i,将硅片篮放到钝化处理装置中进行钝化;j,将钝化好的电池片通过激光切片机进行切割.本发明... 郑涛,李建斌,蔡彬,... 被引量: 0发表...