低気圧放電酸素プラズマ中の励起状態密度分布と電子エネルギー分布関数 低気圧放電酸素プラズマを利用した酸化プ口セスに関連して,近年の報告により準安定原子O~1D①がシリコン酸化膜の形成に重要とされている事をふまえて,圧力数Torr程度... 今野 潤哉,根津 篤,浦治 明,... 被引量: 0发表: ...