ZX-238显影液工艺优化 来自 万方 喜欢 0 阅读量: 524 作者: 秦松 摘要: 显影工艺是光刻工艺技术中最成熟和稳定的工艺技术.本文所探讨的主要内容有两方面.一方面是讨论显影工艺中关键工艺参数对显影工艺的具体影响,加深对显影工艺能力的掌控,从而减少因显影异常造成的返工率.这些关键的工艺参数包含了PEB温度,显影液...