型号 ZA10A-W202 反向型号 ZA10A-W202-R 台面尺寸 100mm×100mm 导轨方式 精密十字滚柱导轨 移动范围 ± 7 mm 传动方式 1/2-楔子、滚珠丝杆、螺距1.0mm 分辨率 整步/半步 0.5μm/0.25μm 分辨率 微步(1/20分割) 0.025μm 最高速度 2.5mm/sec 重复定位精度 ≦±0.2μm (AVE. ±0.06μm) 空程 ≦...