光学元件Z,tip,tilt三自由度微动调整装置,属于深紫外投影光刻物镜装调补偿领域,为解决光学元件Z,tip,tilt三自由度高精度调整问题,该装置包括镜框,镜筒,三个运动支链和三对双电容传感器;镜框和镜筒通过三个运动支链连接;每个运动支链均由第一柔性万向铰,驱动器和第二柔性万向铰组成,驱动器位于第一柔性万向铰的下面,...
Z-axis plus tip/tilt alignment Nanolithography Microscopy MEMSProduct Description The Nano-Align3 is a three axis (Z, θX , θY) piezo nanopositioning system with a large center aperture. The low profile design of the Nano-Align3 allows it to be integrated into existing instrumentation where ...
光学元件Z,tip,tilt三自由度微动调整装置,属于深紫外投影光刻物镜装调补偿领域,为解决光学元件Z,tip,tilt三自由度高精度调整问题,该装置包括镜框,镜筒,三个运动支链和三对双电容传感器;镜框和镜筒通过三个运动支链连接;每个运动支链均由第一柔性万向铰,驱动器和第二柔性万向铰组成,驱动器位于第一柔性万向铰的下面,...
光学元件Z,tip,tilt三自由度微动调整装置,属于深紫外投影光刻物镜装调补偿领域,为解决光刻投影物镜光学元件Z,tip,tilt三自由度高精度调整问题,本发明装置包括镜框,镜筒,三个运动支链和三对双电容传感器;镜框和镜筒通过三个运动支链连接;每个运动支链均由柔性球铰,驱动器和单轴柔性铰链组成,驱动器位于柔性球铰的下面,...
Monolithic structureCompliant parallel micromanipulatorOptimized structureLarge amplification factorIn micro/nano manipulation mechanisms, the compliant z/tip/tilt stages have proved to have enormous advantages for out-of-plane positioning. Small workspace is a challenge in designing these out-of-plane ...
1.光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置,包括镜框(1)、镜筒(2)、三个运动支链(3)和三对双电容传感器(4);其特征在于,所述镜框(1)和镜筒(2)通过三个运动支链(3)连接;所述每个运动支链(3)均由第一柔性万向铰(3-1)、驱动器(3-2)和第二柔性万向铰(3-3)组成,驱动器(3-2)位于第一柔性万向铰(3...
1.光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置,包括镜框(1)、镜筒(2)、三个运动支链(3)和三对双电容传感器(4),其特征在于,所述镜框(1)和镜筒(2)通过三个运动支链(3)连接;所述每个运动支链(3)均由柔性球铰(3-1)、驱动器(3-2)和单轴柔性铰链(3-3)组成,驱动器(3-2)位于柔性球铰(3-1)的下面,单...
The adjusting device aims to realize high-precision adjustment for the optical element with the Z, tip and tilt degrees of freedom, and comprises a lens frame, a lens barrel, three motion branched chains and three pairs of double-capacitance sensors, the lens frame is connected with the lens...