晶圆间距:可调节为10mm~7mm或5mm 干燥方式:温水提拉·IR·旋转干燥·马兰戈尼干燥 处理时间:1批(25或50片)5~6分 晶圆传送:垂直轴(AC伺服驱动)+行走轴(AC伺服驱动)+夹具机构(气动) 药液:O3·HF·NCW·KOH·NH4OH· H2O2·HCL·EDTA·HCL·CA·DIW 药液温度:最高100℃ 药液槽:摇动·旋转·超声波 漂洗槽:...