型号 YA05A-R102 反向型号 YA05A-R102-RRR 台面尺寸 50mm×50mm 导轨方式 精密⼗字滚柱导轨 移动范围 ± 7.5mm 传动方式 研磨螺杆、螺距 0.5mm 分辨率 整步/半步 0.5μm/0.25μm 分辨率 微步(1/20分割) 0.025μm 最高速度 2.5mm/sec 累积误差 ≦6μm/15mm 重复定位精度 ≦±0.3μm 空程 ≦1μm ...