- O1s Scan和C1s Scan工作簿对应每个元素的具体数据; - XPS Survey工作簿指的是全谱图的具体数据; - Peak Table工作簿指的是从全谱图中得到的每个元素的具体参数,包括元素结合能、半高宽、积分面积以及相对原子含量等参数,需要注意的是相对原子含量 (Atomic%)只是一个参考,毕竟XPS是半定量测试,表征的样品表面微...
1.表面污染/变色之成份分析(SurfaceSurvey) : 样品表面100A以内的成份分析。 2.表面化学组态分析(Narrow Scan) : 样品表面100A以内的元素化学组态键结分析。 3.样品氧化状况(氧化层厚度及氧化态)分析。 4.多层薄膜纵深分析(Depth Profile) : 藉由Ar 离子溅蚀样品的表面,得到不同深度的元素信号之纵深分布。
什么是光电子能谱?XPS(X-rayPhotoelectronSpectroscopy)又被称为ESCA(ElectronSpectroscopyforChemicalAnalysis)。它是以X射线为探针检测由表面出射的光电子来获取表面信息的，这些光电子主要来自表面原子的内壳层携带有表面丰富的物理和化学信息。XPS作为表面分析技术的普及归因于其高信息量、其对广泛样品的适应性以及其坚实...
什么是光电子能谱?XPS(X-rayPhotoelectronSpectroscopy)又被称为ESCA(ElectronSpectroscopyforChemicalAnalysis)。它是以X射线为探针检测由表面出射的光电子来获取表面信息的，这些光电子主要来自表面原子的内壳层携带有表面丰富的物理和化学信息。XPS作为表面分析技术的普及归因于其高信息量、其对广泛样品的适应...
表面污染/变色之成份分析(Surface Survey) : 样品表面100A以内的成份分析。如PCB finger 污染变色。 表面化学组态分析 (Narrow Scan) : 样品表面100A以内的元素化学组态键结分析。 样品氧化状况(氧化层厚度及氧化态)分析。如Metal film 表面氧化态。 多层薄膜纵深分析 (Depth Profile) : 藉由Ar 离子溅蚀样品的表...
2、高分辨谱(Narrow scan or Detail scan) l 对感兴趣的几个元素的峰,可进行窄区域高分辨细扫描。目的是为 了获取更加精确的信息,如结合能的准确位置,鉴定元素的化学状 态,或为了获取精确的线形,或者为了定量分析获得更为精确的计 数,或为了扣除本底或峰的分解或退卷积等数学处理。
元素组成鉴别: 目的 给出表面元素组成 鉴别某特定元素的存在性 方法 通过测定谱中不同元素芯光电子峰的结合能直接进行 元素定性的主要依 据是组成元素的光电子线和俄歇线的特征能量值 具唯一性 工具 XPS标准谱图手册和数据库 步骤 (1).全谱扫描(Survey scan) 对于一个化学成分未知的样品 首先应作全谱扫描 以...
XPS简介
xps分析仪器 X-ray光电子能谱（X-rayPhotoelectronSpectroscopy）福州大学测试中心何运慧 表面分析技术-XPS 优点：⑴可测除H、He以外的所有元素，无强矩阵效应。⑵亚单层灵敏度；探测深度1～20单层，依赖材料和实验参数。⑶定量分析元素含量。⑷通过化学位移分析化学环境，完整的标准化合物数据库的联合使用。