除了材料的体相成分信息外,许多研究会关注材料表面深度约1 μm以内的微区结构和成分信息。目前微区成分分析技术种类繁多,大多是用能汇聚成微米的射线与样品相互作用,再探测体积内激发出射线的能量(或质量)和强度来进行成分分析的。本期视频介绍几种常见的微区分析方法,包括XPS、XRF、EDS,根据各自的测试原理,常见应用...
光电子能谱(XPS) 原理:X射线激发固体中原子或离子的内层电子,通过能量差得出内层电子结合能的信息。对于特定的原子其结合能是特定的,因而可用于表面组成分析。随价态及化学环境的变化,结合能会有一定移动,从移动可以判断原子价态及配位环境。因光电子逃逸深度小于2-3 nm, 所以是表面敏感手段。