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xps没做过,AFM我们实验室去做内部价是40/h,SEM和FTIR10元一个样
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如上图左,使用Al Ka测试一SiO210nm厚样式基本只看到表面的氧化硅;而在右图所示在使用Cr Ka分析同一样品可同时侦测出表面氧化硅和深度10nm后更深金属硅的讯号。 探测高结合能的内层电子和更寛的XPS能谱 当内层电子的结合能高于1.5 KeV而小于5.4 KeV时,该层电子无法被Al Ka X射线激发产生光电子,但是却能被Cr Ka...