🔬 不同点: 基本原理:XPS利用X射线激发出电子,检测的是这些电子;而EDS则是用电子撞击样品,产生X射线,检测的是这些X射线。 灵敏度和信息获取:EDS只能检测元素的组成和含量,不能测定元素的价态,且检测限较高(含量>2%),灵敏度较低。而XPS不仅可以测定表面元素和含量,还能测定元素的价态,最低检测浓度可达0.1%。
1️⃣ 测试深度:EDS的测试深度大约为几个微米,比XPS的测试深度大,但精度较低。XPS能够进行元素形态分析,而EDS则不能。 2️⃣ 分析内容:XPS主要用于固体样品的化学成分定性分析、半定量分析、元素化合价分析以及元素成分的深度剖析。EDS则主要用于元素的定性、定量分析,以及元素的线分布和面分布分析,但分辨率较...
XPS(X射线光电子能谱)和EDS(能量色散谱)都是用于表面元素分析的技术。EDS的测试深度较大,约几个微米,但精度较低,不适合进行元素形态分析。XPS则主要用于固体样品表面的化学成分定性、半定量分析,以及元素化合价和深度剖析。EDS主要用于元素定性、定量分析,以及元素的线分布和面分布,但分辨率较低。XPS需要真空环境,较...
EDS分析是利用元素的特征X射线，而氢和氦原子只有K层电子，不能产生特征 X 射线，所以无法进行成分分析...
3)结构简单,稳定性和重现性都很好 4)不必聚焦,对样品表面无特殊要求,适于粗糙表面分析。 X射线光电子能谱( XPS) #01 介绍 X射线光电子能谱分析(XPS, X-ray photoelectron spectroscopy)测试的是物体表面10纳米左右的物质的价态和元素含量,而EDS不能测价态,且测试的深度为几十纳米到几微米,基本上只能定性分...
关于XPS和EDS的区别 作者:na**wang提交日期:2005-12-1410:41:00 这两种都是比较经典的材料分析手段,看到BBs上一些不是特别清楚,试着写点, 转贴此处,备份。 0)XPS的物理原理是光电效应;EDS的物理原理可称为电光效应,广义上说,二者 是逆过 程! 1)XPS的入射源是X射线,其对样品的破坏性较低;EDS的入射源是...
eds:energy dispersive spectrometer 能量色散谱仪 edx是荧光分析,eds是能谱分析,后者不是x射线能谱仪,如果想准确定量,可以考虑化学分析,xps,或者俄歇分析(aes),xps和aes对表面含量较为适合。 要看你应用在哪一方面.如做表面元素分析的话建义你有eds或xps....
XPS可以做几个原子深度的表面分析，还可以通过离子轰击确定成分等随深度的变化。而EDS对于极表层成分分析...
EDS定量误差很大阿，XPS还好一些，对材料表面比较灵敏。ICP用来定量比较好。