X-Ray、XRD、XRF、XPS虽然它们都用 X 光源,但原理、检测对象和应用目的截然不同。 X-Ray(CT)原理:运用的是X射线的透射原理:X 射线穿透样品时,会根据样品内部密度、厚度、材料组成不同而发生不同程度的吸收。探测器记录 X 射线通过样品后的强度变化,形成影像。 作用:无损检测,可看到芯片封装内部结构。不能得出元素组成,只看