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随着芯片尺寸不断缩小,这就要求器件和材料的尺寸不断减小,而器件的长宽比不断增大,减低了使用材料的厚度,使之至几个纳米数量级。特别是当芯片制造工艺水平进入5纳米节点以后,如何延续摩尔定律已成为半导体行业的一大难题。 2007年底,美国Intel公司推出了基于45纳米节点技术的酷睿处理器,首次将ALD技术沉...