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本文在GST的非晶态薄膜上使用激光直写的方式使薄膜在小范围区域内结晶而形成微结构。使用射频磁控溅射法在玻璃基底上制备出GST薄膜,得到其非晶态相,薄膜厚度约为100... 张腾 - 哈尔滨工业大学 被引量: 0发表: 2019年 基于相变材料GeSbTe的微结构制备及其光学性质研究 本文在GST的非晶态薄膜上使用激光直写的方式使...
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