型号 MVXA05A-R102 台面尺寸 50mm×50mm 导轨方式 精密十字滚柱导轨 移动范围 ±7.5mm 传动方式 研磨螺杆、螺距 0.5mm 分辨率 整步/半步 1μm/0.5μm 分辨率 微步(1/20分割) 0.05μm 最高速度 2.5mm/sec 累积误差 ≦6μm/15mm 空程 ≦1μm 水平直线度 ≦1μm/15mm 垂直直线度 ≦1μm/15mm 背隙...