综上所述,EDS需要与SEM、TEM、XRD(X射线衍射仪)等联用,才能更好地完整地把握一个样品的成分、结构、形貌等信息。
综上所述,EDS需要与SEM、TEM、XRD(X射线衍射仪)等联用,才能更好地完整地把握一个样品的成分、结构、形貌等信息。
【摘要】大家对能够进行样品的微区结构与形貌分析的扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)都不陌生,而与之相关的利用特征X射线具有特征能量这一原理设计的用于成分分析的能量色散X射线谱仪(EDS),因为不常用,所以可能就没那么熟悉了。 大家对能够进行样品的微区结构与形貌分析的扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜...
大家对能够进行样品的微区结构与形貌分析的扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)都不陌生,而与之相关的利用特征X射线具有特征能量这一原理设计的用于成分分析的能量色散X射线谱仪(EDS),因为不常用,所以可能就没那么熟悉了。而今天,小编就给大家讲讲,EDS的那些事儿!
能量色散X射线谱仪（EDS）在芯片逆向分析中的应用与作用 EDS技术基于高能电子束轰击样品表面，电子与原子核及外层电子碰撞，激发出特征X射线。这些特征X射线能量不同，EDS利用这一特性进行元素分析，主要构成单元是Si(Li)半导体检测器和多道脉冲分析器。通过检测和计数，EDS能谱曲线显示元素分布，解析芯片...
所用谱仪称为能量色散X射线谱仪(EDS),简称能谱仪。 图2:能谱仪结构及工作原理 X射线能谱仪的主要构成单元是Si(Li)半导体检测器,即锂漂移硅半导体检测器和多道脉冲分析器。能量为数千电子伏特的入射电子束照射到样品上,激发出特征X射线,通过Be窗直接照射到Si(Li)半导体检测器上,使Si原子电离并产生大量电子-...
大家对能够进行样品的微区结构与形貌分析的扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)都不陌生,而与之相关的利用特征X射线具有特征能量这一原理设计的用于成分分析的能量色散X射线谱仪(EDS),因为不常用,所以可能就没那么熟悉了。而今天,小编就给大家讲讲,EDS的那些事儿!
EDS的结构主要包括Si(Li)半导体检测器和多道脉冲分析器。入射电子束激发样品产生特征X射线，X射线直接照射到Si(Li)半导体检测器上，产生电子空穴对，其数量与X射线能量正相关。通过加偏压分离收集电子空穴对，转换成脉冲信号，再进行多道脉冲分析。不同元素产生的脉冲高度不同，能谱仪通过数模转换器将脉冲...
EDS是能量色散X射线谱仪,简称能谱仪,常用作扫描电镜或透射电镜的微区成分分析。利用发射出来的特征X射线能量不同而进行的元素分析,称为能量色散法。X射线能谱仪的主要构成单元是Si(Li)半导体检测器,即锂飘移硅半导体检测器和多道脉冲分析器。目前还不能用于分析超轻元素(O、N、C等)。由于能谱仪中Si(Li)检测...