Pfeiffer 罗茨泵组 WH 系列, 前级泵选用 Pfeiffer 干式螺杆泵 HeptaDry 或 & UniDry, 搭配罗茨泵 Okta 系列. Pfeiffer 罗茨泵组 WH 系列模块化设计, 多种型号供选择, 干燥无油满足高工艺的应用, 例如半导体, 镀膜, 真空干燥行 Pfeiffer 干式罗茨泵组 WH 特性:极限真空 2X10-3 mbar 干燥无油 泵组高抽速 ...