wafer 上的缺角 notch 主要有以下作用：指示晶向：硅晶圆由单晶硅锭切片制成，晶向对半导体器件性能和加工工艺至关重要。notch 可指示硅晶圆的晶向，如 <100>、<110>、<111 > 等，让工艺人员快速确定晶圆晶向，指导后续加工操作，确保不同晶向的晶圆在光刻、蚀刻等工艺中能按正确方向进行处理，保证芯片性能和功能...
3. 影响芯片尺寸和布局notch 的尺寸精度，直接关系到晶圆边缘可利用空间的大小。要是 notch 尺寸过大，或者精度超出允许范围，就会占据过多晶圆边缘面积，使得可用于制造芯片的有效面积大幅减少，不仅降低了晶圆利用率，还会显著增加芯片制造成本。同时，notch 尺寸的不确定性，也会给芯片布局设计带来诸多难题。设计人员需...
晶圆定位边(wafer flat)和凹槽(notch)是晶圆制造过程中用于确定晶圆方向的重要特征,它们在晶圆的加工、对准和检测中发挥着至关重要的作用。 1. 晶圆定位边(Wafer Flat) 晶圆定位边是指晶圆外缘上平直的部分,它用于标记晶圆的特定方向,确保在晶圆的加工和处理过程中,晶圆能够正确地对准。可以把它想象成一个指南针的...
自动对齐晶圆notch 滚梯抬升晶圆5mm,用于读取晶圆ID 自动对齐notch全批次晶圆读取 成本远低于全自动OCR系统
5、凹槽(Notch) (1)定义:凹槽是晶圆边缘的一种特殊设计,它比平面区域更为高效,因为它可以提供更多的参考点,帮助更准确地定位晶圆。带有凹槽的晶圆已经取代了平面区域。与带有平面区域的晶圆相比,带有凹槽的晶圆在生产更多的芯片方面更为高效。 (2)作用:凹槽的设计使得晶圆在生产过程中可以更高效地切割和定位...
wafer notch手动对准器 ETAS1手动-ID(76*200)mm 自动对齐晶圆notch 滚梯抬升晶圆5mm,用于 读取晶圆ID 成本远低于全自动OCR系统
5、凹槽(Notch) (1)定义:凹槽是晶圆边缘的一种特殊设计,它比平面区域更为高效,因为它可以提供更多的参考点,帮助更准确地定位晶圆。带有凹槽的晶圆已经取代了平面区域。与带有平面区域的晶圆相比,带有凹槽的晶圆在生产更多的芯片方面更为高效。 (2)作用:凹槽的设计使得晶圆在生产过程中可以更高效地切割和定位,从而...
Notch detection methods and modules are provided for efficiently estimating a position of a wafer notch. Capturing an image of specified region(s) of the wafer, a principle angle is identified in a transformation, converted into polar coordinates, of the captured image. Then the wafer axes are ...
晶圆定位边(wafer flat)和凹槽(notch)是晶圆制造过程中用于确定晶圆方向的重要特征,它们在晶圆的加工、对准和检测中发挥着至关重要的作用。 1. 晶圆定位边(Wafer Flat) 晶圆定位边是指晶圆外缘上平直的部分,它用于标记晶圆的特定方向,确保在晶圆的加工和处理过程中,晶圆能够正确地对准。可以把它想象成一个指南针的...
1. 切边/切槽:我们的wafer都有个Notch (6寸是平边/flat),这个是在ingot做好的时候就要切好的,切成片就没法做了。这个notch或平边不是随便切的哦,它必须沿着<110>向切,所以Wafer规格上规定Notch orientation为110+/-1deg。还有notch的深度以及平边大小都是有SEMI M1规定的,6寸用的平边一般有两种47.5mm和...