4. 依工艺制程需求可再次调压; 5 带主管(Main line )扩充阀 / 分支(Stick )扩充阀 , 视需求可供未来扩充 6. VMB 之电控箱可与厂务中控系统衔接; 2 VMB/VMP 安全防护设施: 1.工艺管线(Process Line )供气状况经 PLC (可选)与中控系统连线,如有紧急状况可自动切断气源; 2. 所有阀件接点及焊道均在箱...
4.依工艺制程需求可再次调压; 5.带主管(Main line)扩充阀/分支(Stick)扩充阀,视需求可供未来扩充; 6. VMB 之电控箱可与厂务中控系统衔接; 2 VMB/VMP 安全防护设施: 1.工艺管线(Process Line)供气状况经 PLC(可选)与中控系统连线,如有紧急状况可自动切断气源: 2.所有阀件接点及焊道均在箱内,可经由风门...
■每个stick 可配置:手动隔膜阀、气动隔膜阀、压力表,压力传感器、减压阀,单向阀,过滤器、安全阀等(3)适用气体 易燃性,腐蚀性,毒性气体,诸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等 (4)适用行业 Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所,高校实验室等返回列表 落地...
4. 依工艺制程需求可再次调压; 5 带主管(Main line )扩充阀 / 分支(Stick )扩充阀 , 视需求可供未来扩充 6. VMB 之电控箱可与厂务中控系统衔接; 二、 VMB/VMP 安全防护设施: 1.工艺管线(Process Line )供气状况经 PLC (可选)与中控系统连线,如有紧急状况可自动切断气源; 2. 所有阀件接点及焊道均在...
设备数量1111Operation 操作Semi-AutoSemi-AutoSemi-AutoSemi-AutoProcess material工艺管路材质SS316L EPSS316L EPSS316L EPSS316L EPProcess line 面盘工艺管路Main line size 主管 - 支路尺寸1/4"1/4"1/4"1/4"Stick line size支路尺寸1/4"1/4"1/4"1/4"Inlet Expansion Valve 入口扩充口YesYesY 7、es...
18、/分支(Stick)扩充阀,视需求可供未来扩充6. VMB之电控箱可与厂务中控系统衔接;2 VMB/VMP 安全防护设施:1. 工艺管线(Process Line )供气状况经PLC (可选)与中控系统连线,如有紧急状况可自动切断气源;2. 所有阀件接点及焊道均在箱内,可经由风门(Damper)调节抽风量大小来减少气体外漏之危险;3可燃性性气体...
5 带主管(Main line)扩充阀 / 分支(Stick)扩充阀 , 视需求可供未来扩充 6. VMB 之电控箱可与厂务中控系统衔接; 2 VMB/VMP 安全防护设施: 1.工艺管线(Process Line)供气状况经 PLC (可选)与中控系统连线,如有紧急状况可自动切断气源; 2. 所有阀件接点及焊道均在箱内,可经由风门( Damper)调节抽风量大小...
StickRegulator支路减压阀 Yes Yes Yes Yes StickPressureMonitor支路压力侦测 PG PG PG PG StickPurgeline吹扫支路 Yes Yes Yes Yes 控制及安全装置 PLCControllerPLC控制器 Yes Yes Yes Yes ControllerZPurge控制器Z吹扫 Yes Yes Yes Yes EMO 紧急关断按钮 Yes Yes Yes Yes RemoteESOinput远程紧急切断信号输入 Yes...
每个stick 配置:进出均须带手动隔膜阀、气动隔膜阀、压力表,压力传感器、减压阀,单向阀,过滤器、安全阀等 具备一个预留扩充点; 气体分配柜的负压应持续监控。 紧急切断功能,风压事故报警功能等 为保证安全,所有阀门管件须使用优质的国际知名品牌。相关产品 NRELATED PRODUCTS 全自动双瓶特气柜 GC半自动特气柜 氢气...
StickRegulator支路减压阀 Yes Yes Yes Yes StickPressureMonitor支路压力侦测 PG PG PG PG StickPurgeline吹扫支路 Yes Yes Yes Yes 控制及安全装置 PLCControllerPLC控制器 Yes Yes Yes Yes ControllerZPurge控制器Z吹扫 Yes Yes Yes Yes EMO 紧急关断按钮 Yes Yes Yes Yes RemoteESOinput远程紧急切断信号输入 Yes...