XPS 用于研究样品表面化学状态和化学组成,具有很高的表面检测灵敏度,可达到 10-3 原子单层,但体相检测灵敏度仅为 0.1 % 左右,其表面采样深度为 2.0～5.0 nm。 1) XPS 的结合能仅与元素的种类和所电离激发的原子轨道有关,可以利用结合能进行表面元素的定性分析; 2) X 射线激发出的光电子的强度是与样品中该原...