UPC-2000L CO2发泡机CO2发泡机适用于半导体晶圆切割工序,它是通过渗入CO2,使水的电阻率降价(达到0.2MΩ.cm).从而消除水中的静电,达到保护wafer的作用。 产品优势: 1、精准的电阻率控制能力,可将电阻率控制在±0.1MΩ.cm. 2、增加了电阻率自动调节系统....
UPC-2000L操作手册 UPC 000L发泡机 操作手册
UPC-2000L CO2发泡机 CO2发泡机适用于半导体晶圆切割工序,它是通过渗入CO2,使水的电阻率降价(达到0.2MΩ.cm).从而消除水中的静电,达到保护wafer的作用。 产品优势: 1、精准的电阻率控制能力,可将电阻率控制在±0.1MΩ.cm. 2、增加了电阻率自动调节系统. ...