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维修ULVAC KRC-4000Z ROBOT CONTROLLER YASAKWA XU-CM电路指处理信号的电磁波长与电路或器材尺寸处于同一数量级的电路。此刻因为器材尺寸和导线尺寸的关系,电路需要用分布参数的相关理论来处理,这类电路都可以认为是射频电路,对其频率没有严格要求,如长距离传输的沟通输电线(50或60Hz)有时也要用RF的相关理论来处理 ...
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1.A substrate transfer apparatus for transferring a substrate between a core chamber and a peripheral chamber, the substrate transfer apparatus comprising:a transfer robot arranged in the core chamber and capable of extending/drawing and pivoting a hand for carrying the substrate; anda sensor which ...
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