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Vacuum transfer robot United States Patent D639323 Inventors: Yoshino, Takahiro (Kanagawa, JP) Application Number: 29/361139 Publication Date: 06/07/2011 Filing Date: 05/06/2010 Export Citation: Click for automatic bibliography generation
一、日本ULVAC DAP-6D/DAP-12S隔膜真空泵产品概述 由于并未使用油,因此排气时不会造成污染。 为了容易维护,我们使用桌上型以及可以大量生产之和設備組裝等多用途部品。 我們備有小型至大型各種機種。可以依照用途作選擇購買。 用途: 分析裝置/防潮箱/真空乾燥/Robot/Particle counter/基板固定/搬送 /print基板實裝...
and a substrate carry-in and carry-out mechanism and a conveyance robot in the vacuum chamber, wherein the substrate carry-in and carry-out mechanism carries a substrate holder that holds a pre-process substrate from inside the substrate carry-in and carry-out chamber to the vacuum chamber an...
维修ULVAC KRC-4000Z ROBOT CONTROLLER YASAKWA XU-CM电路指处理信号的电磁波长与电路或器材尺寸处于同一数量级的电路。此刻因为器材尺寸和导线尺寸的关系,电路需要用分布参数的相关理论来处理,这类电路都可以认为是射频电路,对其频率没有严格要求,如长距离传输的沟通输电线(50或60Hz)有时也要用RF的相关理论来处理 ...
A transport robot including a release-side high radiation ratio portion and a receive-side high radiation ratio portion that face each other. Heat in a substrate conducted to a base portion due to thermal conduction is released as radian... T Koike 被引量: 4发表: 2007年 Effect of indium ...