产品型号:IMX-3500 产品厂商:ULVAC爱发科 产品价格:0 折扣价格:0 产品文档: 简单介绍: 离子注入机用于研发的中电流离子注入机 IMX-3500 详情介绍: 离子注入机 用于研发的中电流离子注入机IMX-3500 中电流离子注入机IMX-3500是一款*大能量为200 kV、晶圆尺寸可达8英寸的离子注入机,是高校研发的理想选择。
用于研究和开发的中电流离子注入机SME-3500 中电流离子注入机IMX-3500是一款最高能量为200kV、晶圆尺寸最大为8英寸的离子注入机,非常适合大学的研发。 特征 最大晶圆尺寸为8英寸,配备可处理不规则形状基板的压板。 除了气体源之外,固体蒸发源也可用于易于安全处理 B、P 和 As 离子的离子源。 高压端子部分与量产...
IMX-3500 中电流离子注入装置IMX-3500为最大能量200keV、对应最大晶圆尺寸8inch的离子注入装置,适用于大学等机构的研究开发。 了解详情 SiC用高温离子注入设备 IH-860DSIC SiC用高温离子注入设备 IH-860DSIC IH-860系列 搭载了高温ESC(静电吸附卡盘)的面向SiC量产用的高能粒子注入装置。 了解详情 产品...
SOPHI-400 最大可对应至2400keV的高能离子注入装置。 了解详情 研究开发用中电流离子注入设备IMX-3500 研究开发用中电流离子注入设备IMX-3500 IMX-3500 中电流离子注入装置IMX-3500为最大能量200keV、对应最大晶圆尺寸8 inch的离子注入装置,适用于大学等机构的研究开发。 了解详情 123...
中电流离子注入机IMX-3500是一款最高能量为200kV、晶圆尺寸最大为8英寸的离子注入机,非常适合大学的研发。 特征 最大晶圆尺寸为8英寸,配备可处理不规则形状基板的压板。 除了气体源之外,固体蒸发源也可用于易于安全处理 B、P 和 As 离子的离子源。 高压端子部分与量产设备配置相同,确保高可靠性。 规格 活力 30...
这是一种高能离子注入机,可处理高达 1200keV 的电压。 中电流离子注入机IMX-3500是一款最高能量为200kV、晶圆尺寸最大为8英寸的离子注入机,非常适合大学的研发。 特征 单片式 兼容薄晶圆 平行光束 最大晶圆尺寸为8英寸,配备可处理不规则形状基板的压板。 除了气体源之外,固体蒸发源也可用于易于安全处理 B、P ...