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The INFICON UL1000 Fab 移动式氦气检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性,UL1000 Fab 在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。 通过结合较高氦气抽气能力和高进气口压力的真空结构,UL1000 Fab 提供的*的泄漏率低达<5x10-12 atm cc/s。软件 I-CAL(智能...
英福康inficon UL5000 manual操作手册.pdf,T E C H N I C A L H A N D B O O K iinb74en1-11 (1811) Translation of the original handbook Catalog-No. 550-500A, 550-501A from software version V 5.17 UL5000 Helium Leak Detector Table of contents 1 General Informa