UL1000Fab技术手册第1页共109页 技术手册 2003年3月11日2.0版 UL1000Fab 氦检漏仪 1 UL1000Fab技术手册第2页共109页 目录 1一般信息 1.1本手册使用符号 1.1.1安全符号 1.1.2指示符 1.1.3真空符号 1.1.4术语定义 1.2INFICON服务的支持 1.2.1维修中心 1.3前言 1.3.1用途 1.3.2技术参数 1.3.2.1物理参数 1....
UL1000Fab 技术手册 第 5 页共 109 页 8.2 信息清单 9 接口说明 9.1 ASCII-模式 9.1.1 误差信息 9.1.2 参数 9.1.3 实例 9.1.4 指令清单 9.2 二进制模式 9.2.1 实例 9.2.2 数据格式 9.2.3 误差信息 9.2.4 指令 10 维护 10.1 INFICON 服务 10.2 维护计划 10.2.1 最小维护 10.2.2 标准维护 10.2....