UL1000Fab 技术手册 第 5 页共 109 页 8.2 信息清单 9 接口说明 9.1 ASCII-模式 9.1.1 误差信息 9.1.2 参数 9.1.3 实例 9.1.4 指令清单 9.2 二进制模式 9.2.1 实例 9.2.2 数据格式 9.2.3 误差信息 9.2.4 指令 10 维护 10.1 INFICON 服务 10.2 维护计划 10.2.1 最小维护 10.2.2 标准维护 10.2....
UL1000Fab 氦检漏仪 1 UL1000Fab技术手册第2页共109页 目录 1一般信息 1.1本手册使用符号 1.1.1安全符号 1.1.2指示符 1.1.3真空符号 1.1.4术语定义 1.2INFICON服务的支持 1.2.1维修中心 1.3前言 1.3.1用途 1.3.2技术参数 1.3.2.1物理参数 1.3.2.2电气参数 ...