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合肥华宇新增可测试8-12吋晶圆的三温探针台,可实现(-55℃^^200℃)的温度测试,管芯大小为0.2*0.2的电路模块测试要求,最多可测试100万颗。此设备在高级的OTS位置处理系统及彩色晶圆图象对准系统并有对装备小的极大倍率放大功能,是高精度,可操作性的设备。
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内容提示: 目 录 一、 机台概况 二、 机台布局 1、 针测机外形 2、 机台运行传输示意 三、 设备运行原理 1、 针测机运行过程 2、 各站点功能和作用 四、 设备常见故障处理 五、 设备保养相关项目 针测机 UF3000EX-e 设备培训教材 设备机型: UF3000EX-e 编制人: 俞晖晖 第 1 页 共 11 页 文件...
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