本文将基于《TSKUF200 Operation Manual of GP-IB Commands》文档,详细介绍ATE与Prober之间通过GPIB进行的查询和命令通信流程,并提供相应的时序图示例。 一、引言 随着半导体制造工艺的进步,对晶圆级测试的需求日益增加。ATE与Prober之间的通信需要高度精确和可靠,以确保每个芯片都能被正确测试。本文将探讨如何通过GPIB...
UF200RProber基本操作(operator)(共14页)UF200R Prober基本操作(operator)一、Prober操作(cāozuò)流程 1.上料 在开机(kāi jī)初始化之后,点击屏幕左下方的LOADER SW,点击TRAY LOCK/UNLK开锁,打开LOADER部分保护盖,放置CASSETTE,要注意CASSETTE内WAFER槽位放置正确,放置CASSETTE时将CASSETTE底部横条对准LOADER...
UF200R Prober基本操作(operator) 一、Prober操作流程 1.上料 在开机初始化之后,点击屏幕左下方的LOADER SW,点击TRAY LOCK/UNLK开锁,打开LOADER部分保护盖,放置CASSETTE,要注意CASSETTE内WAFER槽位放置正确,放置CASSETTE时将CASSETTE底部横条对准LOADER上横槽,压下两个白块,CASSETTE左右位置参照蓝色框,前后方向固定即可,将...
PROBER CONTROL RACK TOP VIEW 第二章、VME BOX INSTRUCTION 1、VME BOX圖示: 2、各VME BOARD介紹 Slot1: A.CPU Board它是使用Motorola 68040 CPU ,為TSK Prober 的心臟.Connect A 槽:外接Ethernet(FTP) , Connect B 槽:連接 H/D and F/D , RS232 Prot2 :連接溫控箱. B.UF200 F/D 的讀取順序如...
UF200 Prober就外觀⽽⾔分為兩⼤部分,⼀為機台主要部分(Main body),另外則為晶⽚傳輸機構(Loader)。顧名思意既為主要操作部分,主要有晶⽚與針卡放置於測試機的測試頭底下作測試。⽽晶⽚傳輸機構的主要⼯作是將晶⾈內的晶⽚傳輸⾄chuck 作測試之⽤。M arker Switch(Inking專⽤)θ軸的...
1、UF200R Prober基本操作(operator)一、Prober操作流程1.上料在开机初始化之后,点击屏幕左下方的LOADER SW,点击TRAY LOCK/UNLK开锁,打开LOADER部分保护盖,放置CASSETTE,要注意CASSETTE内WAFER槽位放置正确,放置CASSETTE时将CASSETTE底部横条对准LOADER上横槽,压下两个白块,CASSETTE左右位置参照蓝色框,前后方向固定即可,将...
UF200R Prober基本操作(operator) 一、Prober操作流程 1.上料 在开机初始化之后,点击屏幕左下方的LOADER SW,点击TRAY LOCK/UNLK开锁,打开LOADER部分保护盖,放置CASSETTE,要注意CASSETTE内WAFER槽位放置正确,放置CASSETTE时将CASSETTE底部横条对准LOADER上横槽,压下两个白块,CASSETTE左右位置参照蓝色框,前后方向固定即可,...
uf200探针台是一种用于生物学领域的电子测量仪器,专为通用逻辑装置而设计,支持对8英寸及8英寸以下晶圆进行自动测试,支持200um薄片的测试,测试温度范围从室温到150度。它不仅继承了UF200的基本概念,同时进一步采用了新技术的架构。可以提供晶圆OCR自动识别,自动控制、与测试机联动对8英寸及8英寸以下晶圆进行自动测试的筛...
UF200R Prober基本操作(operator) 一、Prober操作流程 1.上料 在开机初始化之后,点击屏幕左下方的LOADER SW,点击TRAY LOCK/UNLK开锁,打开LOADER部分保护盖,放置CASSETTE,要注意CASSETTE内WAFER槽位放置正确,放置CASSETTE时将CASSETTE底部横条对准LOADER上横槽,压下两个白块,CASSETTE左右位置参照蓝色框,前后方向固定即可,将...
基本操作,一,操作流程,上料在开机初始化之后,点击屏幕左下方的,点击开锁,打开部分保护盖,放置,要注意内槽位放置正确,放置时将底部横条对准上横槽,压下两个白块,左右位置参照蓝色框,前后方向固定即可,将保护盖盖好,点击闭锁,调用点击,在左下方