图1. 基于超短脉冲激光的MEMS传感器件修调系统 在赵前程老师和张大成老师的指导下,研究团队相继在Laser Physics 2021,IEEE MEMS 2023, IEEE TRANSDUCERS 2023, IEEE TSM 2023等业内知名会议和期刊上发表多篇MEMS器件激光修调设备及工艺方面...
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