渐变凹槽栅技术作为一种调整器件跨导平坦度的创新手段,具有一定的可行性,但目前由于受工艺条件的制约,渐变型凹槽栅(TRG)技术并不成熟,因此本文尝试先从仿真角度对其进行研究讨论.使用Silvaco仿真软件对渐变型凹槽栅结构器件进行了基本建模,综合考虑器件中材料和结构的特殊性选取合适的极化电荷模型和迁移率模型对器件进行...