HJT电池的制备工序包括清洗制绒、正反面沉积非晶硅膜、正反面沉积TCO膜和电极金属化,前三道工序存在多种实现方式。 (1)清洗制绒:HJT是低温工艺,在清洗环节不能采用PERC和TOPCon的高温去除杂质方法,目前有三种工艺: ①RCA清洗法。此方法目前较为流行,通过过氧化氢(H2O2)、氨水(NH3OH)和硝酸(HNO3)制成高浓度混合溶...
晶洲自主研发TOPCon电池新型六篮碱抛及RCA清洗成套装备是全国首台此工序大产能量产设备,采用5米/分钟刻蚀带速的链式单面去BSG&PSG设备,同时匹配单批次6花篮槽式碱抛&RCA设备,每小时产能≥16000片(基于182正方片),彻底解决了TOPCon电池湿法工序中,单台制绒与碱抛及RCA设备无法整线对应的产能瓶颈,便于客户生产车间的...
HJT电池的制备工序包括清洗制绒、正反面沉积非晶硅膜、正反面沉积TCO膜和电极金属化,前三道工序存在多种实现方式。 (1)清洗制绒:HJT是低温工艺,在清洗环节不能采用PERC和TOPCon的高温去除杂质方法,目前有三种工艺: ①RCA清洗法。此方法目前较为流行,通过过氧化氢(H2O2)、氨水(NH3OH)和硝酸(HNO3)制成高浓度混合溶...
1、目前,高效topcon电池制备基本采用的工艺路线为:槽式制绒—前硼掺杂(硅片背靠背)—se掺杂(选择区域性激光掺杂)—后硼掺杂(硅片背靠背)—背面(硅片无扩散面)及边缘去bsg—碱抛+正面去bsg—背面lpcvd镀非晶硅—背面p扩散—正面及边缘去psg—rca边缘及正面去poly—正面氧化铝沉积+氮化硅减反射膜沉积(ald或pecvd二合一...
1.一种n型topcon半片电池的制备方法,包括以下步骤:制绒工序→硼扩散工序→高温氧化推进工序→去bsg+碱抛→pecvd/lpcvd沉积poly-si→晶化退火工序/磷扩工序→激光切片→去psg+rca工序→正面钝化→背面钝化→丝网印刷→光注入→激光烧结→测试分选。 2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征是:激光切片工序中的切割方式...
晶洲自主研发TOPCon电池新型六篮碱抛及RCA清洗成套装备是全国首台此工序大产能量产设备,采用5米/分钟刻蚀带速的链式单面去BSG&PSG设备,同时匹配单批次6花篮槽式碱抛&RCA设备,每小时产能≥16000片(基于182正方片),彻底解决了TOPCon电池湿法工序中,单台制绒与碱抛及RCA设备无法整线对应的产能瓶颈,便于客户生产车间的...
将第七基体的正面及侧面进行清洗,再对第七基体进行RCA清洗,得到第八基体;S11、在第八基体的正面制备第一氮化硅层,在第八基体的背面制备第二氮化硅层,得到第九基体;S12、第九基体进入丝网印刷工序,使第九基体的正面形成正面电极,背面形成背面电极,得到第十基体;S13、将第十基体进行烧结处理,然后再将第十基体进行...
摘要:本发明公开了一种N型TOPCon半片电池的制备方法,包括以下步骤:制绒工序→硼扩散工序→高温氧化推进工序→去BSG+碱抛→PECVDLPCVD沉积poly‑Si→晶化退火工序磷扩工序→激光切片→去PSG+RCA工序→正面钝化→背面钝化→丝网印刷→光注入→激光烧结→测试分选。其中,去PSG+RCA工序的具体工艺为:切半后的硅片先经链...
28、本发明topcon电池采用在制程rca清洗工序前增加激光划片切割硅片,然后再进行rca清洗,通过在电池端进行切割并在切割面上做边缘钝化,减少切割面的界面复合,提高电池和组件的功率,组件功率可提升至5.8w,从而改善组件切割损失及ctm偏低的问题;且本发明工序流程仅增加激光划片机台和制程工艺优化外,不需要增加其余工序及机...
1.一种开膜式双面TOPCon电池的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、硅基底双面制绒;S2、对硅基底背面进行抛光;S3、硅基底双面依次沉积隧穿氧化层、非晶硅层以及二氧化硅层;S4、通过激光在硅基底正面非电极图形区域进行开膜,去除正面非电极图形区域的二氧化硅层;S5、RCA清洗,去除硅基底正面非电极图形区域的非晶硅,保...