设置旋转精度指令 */PD 10\r\n 单位秒，设置范围5~60秒 串口返回数据 操作成功：06H(ACK)，操作失败：15H(NAK)发送格式错误或设置的值超过有效范围时会导致操作失败。测角指令 *ST1\r\n 串口返回数据 *ST1 5,100,359.5959,89.5959\r\n 或：*ST1 5,100,359.5959,89.5959,sum\r\n 第一个字段为...
GTS-100(GTS-102N/R 105N), GTS-230(GTS-233N/235N/236N239N), GTS-330(GTS-332N/335N/335N), GTS-240NW(GTS-243NW,245NW,246NW,249NW) GPT-3000(GPT-3002N/3005N/3007N), GPT-3100(GPT-3102N/3105N), GPT-4000(GPT-4002LN)
4)本征多晶硅:使用硅烷:氮气=1:5流量比例,温度630°C,在低压气氛中沉积20min,厚度控制在100nm; 5)双面磷掺杂:进行高温退火,温度维持830°C,LN2:N2=1:2,低压气氛下,时间控制在30min,方阻控制在50Ω/□; 6)去除正面PSG及本征多晶硅:配比清洗液,使清洗液中氟化铵与氟化氢的浓度比为10:1,使用链式清洗机去除...
1C, that the plane PL1 including the subject plane SP, the principal plane PL2 of the lens LN, and the plane PL3 including the image plane IP all intersect on the same straight line CL. Therefore, in the event that the condition shown in FIG. 1C is met, a slit lamp microscope, ...