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1.一种topcon电池改善ald水印的制备工艺,其特征在于,包括以下制备步骤: 2.根据权利要求1所述的一种topcon电池改善ald水印的制备工艺,其特征在于,所述步骤(1)中恒温时间设置500-1200s。 3.根据权利要求1所述的一种topcon电池改善ald水印的制备工艺,其特征在于,所述步骤(2)中节拍循环工艺温度设置190-260℃。。 4...
本发明公开了一种采用新型隧穿氧化层的TOPCon电池及其制备方法,属于太阳能电池技术领域,包括晶硅基底,所述晶硅基底背面由内到外依次设置有隧穿氧化层、磷掺杂多晶硅层,所述晶硅基底正面由内到外设置有P<supgt;+</supgt;掺杂层;所述隧穿氧化层为Al<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;薄膜,且其厚度为1~...
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