1、现有topcon太阳能电池结构是背面为隧穿氧化层钝化接触太阳能电池,正面选择性发射极,隧穿氧化钝化接触层结构为纳米氧化硅和掺杂多晶硅层。现有的poly减薄技术,主要有两种方式,一种是lpcvd直接沉积所需厚度的poly层,后续高温掺杂直接在该poly层上进行掺杂;另一种方式是利用pecvd直接沉积所需要厚度的掺杂poly层,然后后...