专利摘要显示,本发明公开了一种TOPCon电池用炉管结构及其使用方法,炉管结构包括封闭管体、进气管和出气管,本申请采用封闭管体底部均匀进气,封闭管体顶部均匀出气的结构设计,可避免常规低压扩散炉管存在流场不稳定,炉管头尾方阻控制不稳定,均匀性不理想等由于结构设计缺陷带来的方阻不均匀,工艺波动大等问题,气流...