PERC SE是掺磷,而TOPCON SE是掺硼,由于硼和磷的分离系数,磷更容易从二氧化硅向硅中扩散,采用皮秒激光一次掺杂即能够在低温、短时间内掺杂足够的磷原;而硼更容易从硅从二氧化硅中扩散,传统的皮秒激光掺杂方式只能形成较浅的掺杂,往往需要更大的能量才能推进掺杂,而激光能量过大又易造成硅片损伤,因此将硼掺杂进硅的...
2.TOPCon电池工艺流程 3. TOPCon电池各工序作用 ① 制绒 a. 制绒目的: 去除硅片表面的有机物脏污及金属杂质; 去除硅片线切割过程产生的机械损伤层,减少复合中心; 形成起伏不平的绒面,其作用为:a.利用陷光效应,增加硅片对太阳光的吸收,降低反射率;同时增加硅片表面积,进而P-N结面积也同样增加; b. 制绒的原理...
具体工艺过程为:先通入大流量的N2以驱赶扩散炉石英管中的空气,并对扩散炉进行升温,待炉温升至1050℃并且恒定后,把晶片放入石英舟内,送到炉口进行预热20分钟,再推入恒温区中,先通入氧气,再通入三氯化硼进行扩散,整体工艺时间为180分钟。反应过程中Si和O2均过量,BCl3完全反应,反应中产生C12。反应完成后使用N2...
1、制造TOPCon太阳能电池的第一步是通过使用氢氧化钾(KOH)去除c-Si晶片切割过程中的锯损伤来化学纹理化晶圆表面。2、清洁晶圆后,使用扩散法通过施加三溴化硼(BBr)在电池正面形成,但随后通过施加硝酸和氢氟酸(HF/HNO)去除背面,并通过湿化学浸渍产生超薄氧化层。3、为了生长nPoly-Si层,通过等离子体增强化学气...
TOPCon电池核心流程就是制作隧穿氧化层、多晶硅层环节部分,制备隧穿氧化层与多晶硅层环节是在N型硅片的背面沉积一层1-2nm的氧化硅膜和一层100-150nm的掺杂非晶硅薄膜,非晶硅薄膜在后续退火过程中结晶性发生变化,由微晶非晶混合相转变为多晶,激活叠层薄膜的钝化性能,在叠层薄膜上沉积金属,就可以得到无需开孔的钝化...
单双面P-PERC电池工艺生产流程 2、N型电池①:TOPCon,技术过渡最优选择 TOPCon(Tunnel Oxide Passivated Contact)——氧化层钝化接触。正面与常规N型太阳能电池或N-PERT太阳能电池没有本质区别,电池核心技术是背面钝化接触。电池背面由一...
正背面氮化硅钝化,管式 PECVD(捷佳,红太阳) 丝网印刷,在正背面形成金属化电极(迈为,科隆威,捷佳伟创) 电注入或光注入(迈为,奥特维,科隆威) 测试分选(迈为等) 投资者问答环节: Q:TOPCON 电池价格 A:TOPCON 电池溢价在 0.1 元/W,PERC 电池 1.3 元/W,TOPCON 电池 1.4 元/W。组件端 TOPCON 组件比 PERC ...
TOPCon电池的制造流程主要包括多个步骤,如清洗制绒、正面硼扩散、BSG去除和背面刻蚀、氧化层钝化接触制备、正面氧化铝沉积、正背面氮化硅沉积、丝网印刷、烧结和测试分选等,共计约12步。在这些步骤中,氧化层钝化接触结构制备是TOPCon相对于PERC的主要改进之处,也是其核心工艺之一。这一工序的工艺路线主要...
topcon工艺流程详细解读 TOPCon工艺流程详细解读 一、清洗制绒 1.1 清洗目的 去除硅片表面的污垢和杂质,保证硅片表面的洁净度和均匀性,以便后续工艺的正常进行。1.2 制绒原理 利用硝酸和氢氟酸的混合溶液对硅片进行腐蚀,形成绒面结构,以增加硅片表面的陷光效应,提高太阳能电池的光电转换效率。二、正面硼扩散 2.1 ...