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飞行时间二次离子质谱TOF-SIMS使用飞行时间质谱,质量数范围宽,质量分辨率高,且测量速度快(瞬间得到全谱)。离子枪仅需要一次脉冲溅射,即可得到全谱,对表面几乎无破坏作用。因脉冲模式分析,且电流小,所以产生的二次离子比率相对少,灵敏度相比动态SIMS弱,但成像和表面分析能力强,是典型的Stactic SIMS 静态SIMS。
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