型号:分子泵TGKine3404MVWB-B75维修所有硬件故障都可维修:一通电就报警、无法启动、 启动报警、无灯丝电流、操作面板失灵、无入射输出、反射过大、无法进入菜单系统,死机、电流不稳定、不平衡、不能起弧、频率低、功率上不去、自动黑屏、无输出、互锁报警、开关跳闸、启动NG、监控不到膜厚、无灯丝电流、启动无频率...