TDMAH是一种无机化合物,化学式为Hf[N(CH3)2]4。它是一种固体粉末,无色,易燃易爆,具有较强的毒性。由于TDMAH能够提供稳定的氧化铪源,因此被广泛用于半导体工业中的化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)过程中。 TDMAH沉积氧化铪的过程通常在高温下进行。在CVD过程中,TDMAH会被蒸发在基底上,并与氧气反应生成氧化...
tdmah网页 图片 视频 学术 词典 航班 tdmah网络铪 网络释义 1. 铪 ALD中通常使用氯化铪,四(二甲胺基)铪(TDMAH)、四(乙基甲胺基)铪(TEMAH)作为前驱物。薄膜沉积工艺过程中,这些 …info.ec.hc360.com|基于5个网页 隐私声明 法律声明 广告 反馈 © 2025 Microsoft...
产品详情 Hf(NMe2)4 (TDMAH) 中文名称四(二甲胺基)铪 CAS号19782-68-4 分子式C8H24HfN4 分子量354.79 常见用途:一种固液混合前驱体,可以和其他共反应物沉积氧化物、氮化物、硫化物等薄膜,在光学涂层、功率器件、存储设备等方面均有应用。 成分分析报告(COA)...
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Tetrakis (dimethylamido) hafnium (TDMAH) and H2O were chosen as precursors. A purging time of 20 s for TDMAH and 30 s for H2O were adopted to ensure the monolayer adsorption of precursors concluded with thermodynamic equilibrium. The vacuum of the reaction chamber is 240mTorr and N2 is used...
Cyclopentadienyl Tris(dimethylamino) Hafnium, CpTDMAH CAS:941596-80-1 Catalog No.:SC-7007 Formula:C11H23N3Hf Weight:375.81 Color and Form:yellow liq. Stability:air and moisture sensitive Category Electronic Chemicals For product pricing, customization, or other enquiries: Contact us ...
一、王远方投资情况:王远方间接持股河北雄安蜜蜂众创企业孵化器有限公司、投资占比达30%;目前王远方投资蜜蜂众合(北京)信息咨询有限公司最终收益股份为30%,投资河北雄安蜜蜂众创企业孵化器有限公司最终收益股份为30%;二、王远方的商业合作伙伴:基于公开数据展示,王远方与王虎、王伦为商业合作伙伴。 财产...
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一、梁表龙担任职务:担任广西茂水焊割设备有限公司监事;二、梁表龙投资情况:目前梁表龙投资广西茂水焊割设备有限公司最终收益股份为30%;三、梁表龙的商业合作伙伴:基于公开数据展示,梁表龙与梁潭龙、莫锦港为商业合作伙伴。 老板履历 图文概览商业履历 任职全景图 投资、任职的关联公司 股权穿透图 挖掘深层股权...