TCS208F和TCS208F3热导气体传感器元件由一个硅片组成,该硅片具有一层约1mm²的薄膜,该薄膜的材料具有非常好的电绝缘和热绝缘性能。薄膜上有两个薄膜电阻器,它们既用于加热膜又用于测量膜温度Tm。电阻器经过钝化处理,以保护它们免受气体的影响。薄膜被第二个小硅片完全覆盖,硅片上蚀刻有一个矩形空腔。在薄膜上方形...