1、高精度：晶圆温度的控制需要高精度的测量，晶圆测温系统具有高精度的测量能力，可满足半导体制造过程的要求。2、高可靠性：晶圆测温系统采用先进的传感器技术和数据处理技术，具有高可靠性和稳定性。3、高灵敏度：晶圆测温系统对晶圆表面温度变化的响应速度非常快，具有高灵敏度。4、自动化程度高：晶圆测温系统可以与...
因此，通过测试晶圆表面温度均匀性，我们可以及时发现并调整设备参数，确保生产过程的质量和效率。TC WAFER晶圆测温系统能很好的测量晶圆表面的温度情况。参数要求 硅片尺寸：2，3，4，5，6，8，12寸 测温点数：1-64点 温度范围：0-1600度 数据采集系统：1-64路 定制分析软件 晶圆测温仪，多路晶圆测温系统、TC WA...
一、TC Wafer的特点 精度高：TC Wafer采用热电偶材料制成，具有高精度的温度测量能力，能够提供准确的温度数据。这种高精度测量对于半导体制造和其他需要精确温度控制的应用非常重要。稳定性强：TC Wafer具有良好的稳定性，能够长时间稳定地工作，不受外界干扰和变化的影响，保持温度测量的准确性。耐温性好：TC Wafer具...
TC-Wafer校准仪,是一款专注晶圆温场均匀性测量的仪器。 适配市场上大多数主流厂家生产的RTP设备。 特殊情况可定制以适配。 产品特点(部分) 1.测温准确 温度偏差在±1.1℃以内、采集周期为200ms,能准确测量晶圆温厂均匀性; 2.使用便捷 仪器集成度高,即插即用。测试记录完整数 据,并能自动生成测试报告, ...
数据保存、导出。 TC-WAFER 可指定热电偶类型,点位,数量 扩展线 可指定绝缘层材质,接头类型。 密封的聚酰亚胺扁平电缆,可在大气中达到10-7托。长度由客户指定。 RFQ 项目 内容 硅片尺寸及型式 2,3,4,5,6,8,12吋/ Flat, Notch 量测点位数量 1 - 34点(12吋) ...
TC-wafer是专业测量监测晶圆表面温度的常用仪器。为了了解晶圆在升降温过程中各部分的温度分布的均匀性及偏差，在其表面有规律的布置热电偶，另一端连接温度记录仪。2寸，4寸，6寸，8寸，12寸晶圆，可以布置1-30个温度点。温度测量范围：－70℃～1300℃。热电偶类型：K型。温度精度：±0.1℃。组成部分:TC ...
智测电子TC-Wafer等离子蚀刻晶圆温度测量系统,可用于记录等离子蚀刻工艺环境对真实工艺条件下生产晶圆的影响。 高精度温度传感器能够实现晶圆整体温度监测,这与导体蚀刻工艺的 CD 均匀性控制密切相关。通过测量与产品工艺接近条件下的温度数据,可以帮助工艺工程师完成调整蚀刻工艺条件,验证及匹配腔体、和PM后的验证等工作。
无线TC-WAFER 晶圆温度测量系统在半导体制造过程中扮演着重要的角色，它把两块硅片封住电路作为测温接触面，通过无线通信技术将晶圆表面的温度变化传输到数据收集盒，从而实现实时监控晶圆表面温度。无线 TC-WAFER 晶圆温度测量涉及以下几个重要方面，这些内容包括：1、实时性：在半导体制造过程中，影响产品质量和产量的因素...
主营商品:热电偶快速接头、Tcwafer、Marlin、测温线 进入店铺 全部商品 13:47 j** 联系了该商品的商家 13:47 b** 联系了该商品的商家 21:31 c** 联系了该商品的商家 21:31 p** 联系了该商品的商家 20:38 v** 联系了该商品的商家 14:30 k** 联系了该商品的商家 16:44 c** 联系了该商品的商...
热电偶技术：TC Wafer晶圆测温系统主要通过使用热电偶或者铂电阻来实现温度的测量。热电偶在晶圆表面放置感温点，通过测量感温点的温度变化来计算晶圆表面的温度。高精度传感器：一些先进的系统采用微型热电偶探头，由两种不同金属的薄膜制成，其测量精度不受基体材料和表面粗糙度的影响，同时与晶圆表面的接触热阻也很小...